俄羅斯造出150納米光刻機 性能相當於20年前的奔騰4水平

來源 金色財經
金色財經報道,7月22日,據快科技,俄羅斯綠城納米技術中心(ZNTC)已成功研製出一臺電子束光刻機(ELL)原型機,設計標準爲150納米。該項目屬於俄羅斯國家計劃科學技術發展框架下的重點研發任務,代號爲Progress ELL 150。 這臺設備主要用於製造光掩模,也可在不使用掩模的情況下直接在基板上繪製電路圖案。150納米制程大致對應20年前英特爾奔騰4的性能水平。2025年ZNTC曾展示過350納米分辨率的同類設備,目前已向90納米和130納米技術節點推進。 行業專家指出,這種設備僅適合航天、國防等領域的專用芯片小批量生產。
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